作為真空等離子清洗技術，選取的工件器件首先得是要能真空兼容的。因為，在真空環境下，一些材料的性質可能會發生變化。有的材料會在真空下因內部氣壓而自身體積發生膨脹，有的材料會在真空下因釋放大量內部物質而發生收縮或變得干燥。另外，真空下的材料散熱情況與大氣下有很大差異，可能會導致某些工件器件不能正常工作。

因此，簡單來說，對于需要真空等離子清洗的工件器件，得確保其能夠在真空環境下不會釋放有害物質，也不會發生內壓爆炸的現象，這是安全操作的前提。

那么，當工件器件滿足真空兼容的條件，一般都是可以用于真空等離子清洗的，只是要選擇合適的工藝氣體，比如氧氣/氮氣/氬氣/氫氣等。另外，當使用這些常規氣體作為微波等離子清洗的工藝氣體時，清洗工藝對真空腔體通常也不會有什么影響。