真空系統是惰性氣體手套箱的重要組成部分之一，也是使之達到高可靠性的氣密性封裝條件的關鍵部分，它對手套箱正常工作有著非常重要的意義。

手套箱的真空系統主要有真空管道、截止閥門、真空泵和真空規(guī)共同構成，其中最核心的部分就是真空泵。手套箱配備的真空泵有好幾種用途，分別是真空烘箱抽真空、真空傳遞箱抽真空、手套箱體負壓獲得和氮氣純化系統再生抽真空。而不同類型的真空泵會對手套箱的工作產生不同的影響，一般來說，配初級機械泵就能保證手套箱的正常工作狀態(tài)，通?？蛇x擇干泵或油泵；不過，除此之外還有配分子泵等高真空泵，應用于高真空場景。真空泵的選擇取決于具體的應用要求，如抽氣速度、極限壓力和氣體兼容等，像一些高端用途的真空烘箱可能會要求配高真空泵（比如分子泵），目的是為了更快速的去除水汽。

真空/壓力計的作用是測量手套箱內的壓力。手套箱上使用的真空/壓力規(guī)需要根據真空度或壓力監(jiān)測要求來配置。監(jiān)測真空烘箱或傳遞箱內部是否處于（粗）真空或大氣壓力環(huán)境時，采用壓力計；監(jiān)測真空烘箱的極限真空度或工作真空度時，采用皮拉尼真空規(guī)。如果配了高真空泵，那通常還要配備相應的高真空規(guī)，比如離子規(guī)。

在手套箱的使用過程中，對真空的要求并沒有統一的標準，通常箱體內的水、氧均達到1PPM以下即可滿足絕大多數用途，這樣便能保證整個系統始終保持高潔凈和高純度的惰性氣體環(huán)境。